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更新日期2019-03-25 08:42

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所在地:

广东 深圳市

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长期有效
详细说明
?设备型号:MC-200

设备用途:主要用于LED芯片制造工序之外延片退火、TCL退火金属电极合金等

工艺流程:升温→通氮气→稳定温度→石英舟及晶圆准备、装片→进舟→退火合金→退货完成、出舟→冷却→卸片

技术特点:

●3点内热偶控温(串级温度控制为可选型)

●全自动悬臂推拉系统、自动进出料

●紧凑的造型设计

●触摸屏全自动控制

●温度快速恢复功能

●双温区炉体

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